Vertex50是一款功能强大的液体粒子计数器，具有包括纳米级在内的多个尺寸通道。

Vertex50测量和检测UPW系统中≥50nm的趋势

        Vertex50是世界领先的液体粒子计数器之一。它可以检测在超纯水系统（UPW）中≥50nm的颗粒，对于50nm的粒子具有准确的灵敏度。

        超纯水是一个常用的术语，用来强调水被处理到所有污染物类型的最高纯度。这包括有机化合物和无机化合物；溶解物和颗粒物；挥发性和非挥发性、反应性和惰性；亲水性和疏水性；以及溶解气体。超纯水系统用于许多行业，包括制药和半导体。

Vertex 50资格认证设置和范围

        Vertex50可以检测从50纳米到200纳米的粒子。以微米为单位，Vertex50的四个尺寸通道有如下；0.05µm  0.10µm  0.15µm  0.20µm

      Vertex50的流速为100ml/分钟，采样率为5ml/分钟。Vertex50的误计数率在行业中最低，每毫升不到0.2次。这一点至关重要，因为低误计数率是检测纳米范围内颗粒的关键，因为误报会导致数据不可用。很难确定这些计数是真实的还是错误的。

        确定计数是实际的真实计数还是错误计数变得很有挑战性。液体粒子计数器的光电探测器可以将来自宇宙和地球射线的干扰算作错误计数。因此，消除这种错误计数干扰可以提高Vertex50数据的整体准确度。

Vertex50校准验证摘要

        Vertex50的校准过程贯穿粒子通道的范围，并验证尺寸精度、计数精度、灵敏度、零计数和错误计数验证。校准过程将可追踪的参考粒子引入每个通道。可追踪的在第一阶段引入颗粒尺寸。在第二阶段，无颗粒水通过两个后CLRW过滤阶段。在第三阶段，可追踪颗粒被引入第三阶段的稀释系统。然后根据稀释比，因此浓度是已知的。每个通道都是单独测试的。

Vertex50（被测单元UUT）和参考标准的计数效率范围为已知。在第4阶段，将UUT和参考标准一起进行比较。计数比率为计算以验证计数准确性。在UUT上调整所有通道阈值，直到计数在参考值的±5%范围内标准必须验证零计数和暗噪声，这样就不会引入错误计数。

什么是Vertex50校准验证

Vertex50校准和验证告诉我们Vertex50可以检测4个尺寸范围内的粒子：50nm  100nm  150nm  200nm

  Vertex50验证还验证了传感器设计并消除了错误计数先进的光电探测器设计，暗噪声也极低。不需要任何用于减去暗噪声的算法（这种算法实际上可能引入错误计数）。因此Vertex50具有高灵敏度。

Vertex50应该如何在UPW中使用污染检测？

        Vertex50专为在线监控而设计。Vertex50可以连接LMS Express监控软件，以便数据趋势、报告、自动报警消息，并发出通知。如果出现污染，整个系统可以做出快速响应事件发生。

 以上数据采集于10nm的过滤阶段。该趋势显示了观察到的高计数的历史数据。经过检查，过滤器需要更换。决定启动主动过滤器更换计划。在计划的UPW服务计划中，过滤器将每6个月更换一次。通过使用监控系统和回顾数据趋势，制定了计划的服务事件，通过防止计划外停机来提高产品产量