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测试气体在半导体制造中
的重要性
让我们深入研究它们不可
或缺的应用:
沉积工艺:硅烷、氨气和掺杂剂气体可实现化学和物理气相沉积,形成对 IC 制造至关重要的薄半导体层。
蚀刻:SF6 和 NF3 等气体通过等离子体和反应离子蚀刻在晶圆上蚀刻复杂的图案,精确地去除不需要的材料。
掺杂:二硼烷、磷化氢和砷化氢等掺杂气体会改变半导体材料的电性能,从而产生关键的 p 型或 n 型区域。
吹扫和清洁:高纯度氮气和氩气吹扫室,可防止污染并确保一致、无污染的条件。
冷却和温度控制:某些气体在制造过程中调节温度,防止热应力引起的缺陷。
气氛控制:惰性气体可稳定制造环境,保持工艺完整性并防止不必要的反应。
离子注入:氩气和三氟化硼等气体有助于离子注入,从而精确地改变底物特性。
光刻支持:压缩气体可保持清洁、稳定的环境,并有助于气动系统,这对于光刻过程中的精确机械运动至关重要。
在半导体制造的复杂舞蹈中,压缩气体是无声的编排者,精确地编排每一步——它们的特殊用途需要严格控制纯度和条件,以满足 ISO 8573 的严格标准,使其成为当今现代 IC 创建不可或缺的一部分。
结论
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