高效过滤器是空气净化技术的核心，它的安装是否合格直接关系到洁净空间能否达到要求的洁净级别。

  高效过滤器检测检漏的区别是被测粒径应≥0.3um，高效过滤器检漏一般是制药厂净化车间，高效过滤器检测0.3um粒子浓度大于或等于105pc/L。高效过滤器安装后泄漏检测的方法有计数扫描法、光度计扫描法、变风量检漏法、发烟检漏法等，我国的相关规范建议使用粒子计数器法。

1、粒子计数扫描法

  《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）中规定，被检高效空气过滤器必须已检测过风量，并在设计风速80%～120%之间运行，对于被检高效过滤器上风侧的颗粒浓度对受控粒径对于≥0.5Um粒子的浓度，必须≥3.5X104pc/L，对受控粒径≥0.1um的粒子浓度，必须≥3.5X106～3.5X107pc/L。

  使用最小采样量＞1L/min的粒子计数器扫描法，对高效过滤器安装接缝和主断面进行扫描检测，检测点应距被测表面20～30mm，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。

  在《洁净室施工及验收规范》中规定，由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量是否合格，其合格标准如下。

  对于高效空气过滤器：公式中K表示出厂时检测合格的透过率；K’表示泄漏浓度换算成的透过率；c1表示上风侧含尘浓度；c2表示高效过滤器下风侧含尘浓度。高效过滤器的安装泄漏的要求，穿透率的限值为“2K”。

2、实际存在的问题

  高效过滤器一般都在系统风量和各风口风量调整平衡后进行，根据规范要求各风口风量与设计的风量偏差小于15％这满足被检风口在接近设计风速下进行的条件。所以当风量平衡好后要及时进行高效过滤器泄漏的检测工作。

  在工程上，对于大于五级（100级）的净化系统一般采用的粒子计数器的最小粒径通道为0.3um。所以，被检高效过滤器在上风侧的微粒浓度受控粒径为≥0.5um，其浓度必须≥3.5X104pc/L，而一般大气尘的浓度为5.3X104～2.5X105pc/L，这到了粒子计数器的读数上限范围。

  大流量的粒子计数器更适合用来检测高效过滤器的安装泄漏，空气采样量越大，测试结果就越具有代表性，准确度也就越高。规范要求的采样量是1L/min，而我们多使用的采样量是0.1cfm（2.83L/min），以此满足测试仪器的要求，但这样会影响到检漏的工作效率。

  而ISO14644-3《Metrology and test methods》计算扫描速率和可接受观测计数法的计算法则对一般工程技术人员来说又比较难掌握，所以，今后国家在制定这方面的规范时，对不同级别的高效过滤器，建议采用合适的采样速率和可接受观测计数，方便工程测试人员实际操作。

3、DOP粒子扫描正压检漏法

  检测人员必须注意规范中要求的采样时间、上游粒子浓度等参数在实际应用中的可操作性。粒子发生系统及其上游浓度测定系统，采用冷发生气溶胶装置主要因为能稳定快速的发生大量气溶胶。

  对出厂效率为99.97%的高效过滤器检漏时，实测所得透过率应低于0.06％，即实测所得颗粒浓度小于0.06%N0（N0为上游浓度）。

  粒子发生器在过滤器上游所发出的粒子浓度0.3um时为3.3X106pc/2.83L，对于不同风量系统，换算成下游极限浓度，如某一设计风量为15000m3/h净化空调系统下游极限浓度1960pc/2.83L。

  待粒子发生器所发生气溶胶浓度稳定后，用粒子计数器对安装好的高效过滤器进行检漏试验。粒子计数器必须同时对高效过滤器外框和内表面分别进行两次扫描，过滤器上游也必须对风管中的气溶胶浓度进行两次采样测试，采样和扫面的周期必须相等，起止时间尽量要一致。以规格为610X610高效过滤器为例，建议采用采样周期为一分钟，速率为50mm/s。

  这时粒子计数器可按50mm/s左右的速度在高效过滤器下25mm处扫描1分钟，即可判断过滤器是否泄漏，这就是正压检漏法。

  对于具有大量的高效过滤器风口的无尘车间来说，高效正压检漏法的测试效果与传统的内外框扫描法相当，但效率提高了一倍。

结论

  使用计数器扫描法检测高效过滤器安装是否泄漏时，正压检漏法能够提高检测效率，但正压检漏不能判断出何处泄漏。